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高精度中阶光栅光源 DUV光刻机

高精度中阶光栅光源 DUV光刻机

工作波长：193nm尺寸：60mm×360mm槽密度：94.13gr/mm光泽度：-108杂散光和重影线强度：10-4衍射效率：>60···

高精度中阶光栅光源 DUV光刻机

product details

工作波长：193nm

尺寸：60mm×360mm

槽密度：94.13gr/mm

光泽度：-108

杂散光和重影线强度：10-4

衍射效率：>60%

衍射波前：≤λ/6@632.8nm

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