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高线密度单晶硅深蚀刻光栅

工作波长：1-10nm尺寸：25mm x 25mm雕刻密度：1800gr/mm、3600gr/mm纵横比：0.2网格线深宽比：100衍射效率···

product details

工作波长：1-10nm

尺寸：25mm x 25mm

雕刻密度：1800gr/mm、3600gr/mm

纵横比：0.2

网格线深宽比：100

衍射效率：>40%（理论值）

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