大尺寸高精度一维测量光栅-

槽密度：1800gr/mm尺寸：360毫米*60毫米*40毫米沟槽均匀度：40nm/gr300mm范围的测量精度优于200nm衍射效率：&g···

槽密度：1800gr/mm

尺寸：360毫米*60毫米*40毫米

沟槽均匀度：40nm/gr

300mm范围的测量精度优于200nm

衍射效率：>40%

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