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大尺寸高精度二维测量光栅

槽密度：1200gr/mm尺寸：220毫米*220毫米沟槽均匀度：18nm/gr衍射波前：≤0.15λ垂直入射衍射效率：P极化>20%···

product details

槽密度：1200gr/mm

尺寸：220毫米*220毫米

沟槽均匀度：18nm/gr

衍射波前：≤0.15λ

垂直入射衍射效率：

P极化>20%，S极化>20%

P和S的极化不平衡<5%

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